潔凈室污染控制領(lǐng)域中比較新穎的技術(shù)方案進行介紹

1）用傳統(tǒng)的噴水室濕法處理空氣來處理新風(fēng)中的化學(xué)物質(zhì)。近幾年來日本開展了很多研究證明了其有效性。日本三機工業(yè)公司利用純水及自來水對 氣體的噴水處理進行了比較研究，認(rèn)為自來水比純水的凈化率更高，這是由于水中 離子等的影響。

2）有殺菌作用的HEPA過濾器(殺菌酵素過濾囂)。過去采用金屬離子的毒性來殺菌，如銀型陽高于交換纖維制成的空氣過濾器(IEE—Ag)，現(xiàn)今可采用從生物體中提取的天然酵素(固定在纖維紙上，達(dá)到分子級的結(jié)合水平)將細(xì)菌的細(xì)胞壁溶解以達(dá)到殺菌的目的，是一種安全的滅菌措施，它防止了過濾器上微生物增殖所產(chǎn)生的二次污染。

3）UV光電子空氣凈化方法。這種方法不同于普通的靜電過濾器，該方法利用將紫外線照射在金屬膜層上產(chǎn)生光電效應(yīng)，在空氣中產(chǎn)生電子和負(fù)離子使流經(jīng)的污染物質(zhì)荷電并被集塵捕集。目前在有限的小空間范圍內(nèi)已有應(yīng)用。

4）除海鹽粒子過濾器海鹽粒子的粒徑范圍為1-lO ，中位粒徑約為3-4 。沿海岸地區(qū)空氣中含鹽量平均達(dá)1 左右(一般地區(qū)低于該值)，臺風(fēng)等強風(fēng)作用下可達(dá)100 。這種狀況對微電子工廠不利。現(xiàn)在有兩種措施：1)所采用的濾材即使在大量鹽分附著后不容易析出；2)在空調(diào)箱進入段處先設(shè)噴水段及檔水板，可先捕集90％的海鹽粒子，再經(jīng)普通的空氣過濾器清除未被捕集的粒子。噴霧用水應(yīng)直接排放出，不予回收。對于臨海設(shè)置的微電子工廠在空調(diào)凈化裝置中應(yīng)予考慮。

5）智能型空氣離子凈化系統(tǒng)近幾年來歐洲開發(fā)了一種智能化凈化系統(tǒng)，如瑞土LK公司的IONAIR離子空氣智能化凈化系統(tǒng)，它利用離子發(fā)生工作單元的高壓電離原理，釋放出穩(wěn)定的正負(fù)電氧離子族，帶電氧離子與VOC物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，將其分解成 和 ，同時帶電氧離子包裹并殺滅細(xì)菌，以達(dá)到去除臭味凈化空氣的目的，在這過程中，會產(chǎn)生少量 。為保證室內(nèi)空氣質(zhì)量處于***佳狀態(tài)，該系統(tǒng)還配有智能化控制系統(tǒng)，通過送風(fēng)管上的風(fēng)速、濕度和 傳感器及回風(fēng)管和新風(fēng)管中的空氣品質(zhì)傳感器并能將檢測數(shù)據(jù)傳到電離控制器，以控制離子發(fā)生單元的工作強度，自動控制室內(nèi)的空氣品質(zhì)，同時這些數(shù)據(jù)通過傳送器和網(wǎng)絡(luò)，可以進行遠(yuǎn)程監(jiān)控

6）新型空氣吹淋室。傳統(tǒng)的吹淋室對人體吹淋停止后，小室內(nèi)的含塵空氣有可能被帶入車間，新改進的吹琳室，具有快速自凈的功能，當(dāng)停止吹淋氣流后，可部分轉(zhuǎn)換成頂部垂直氣流，這樣可使小室內(nèi)空氣含塵量很快降低，達(dá)到自凈效果。

7）超薄型自凈裝置。